品牌概况
SEMOZON 是 MKS Instruments 的臭氧产品线，技术源头是 ASTeX 时代的 AX8000 系列放电腔。做法是把臭氧腔、供电、浓度闭环和水冷做成一套机架式供气系统，直接对接工艺机台的进气口，而不是卖一台孤立的机器。
技术路线
放电腔是焊接结构，进料为 6N 以上纯氧，另外掺入 ppm 级氮气改善放电稳定性，这是半导体级臭氧源的通行做法。冷却水要求 17–23 ℃，出水浓度按机台需求闭环调节。AX8400 系列单机产量从 70 g/h 到 220 g/h，气体流量 2–50 slm 分档。
和 PLD 这条线的关系
同一套放电腔可以拼成 AX8500 集成系统：一台机架里放 1–4 台 AX8400，做单通道或双通道流量控制，再配背压控制和浓度监控。工艺端要改产量时，换的是腔的台数，不是整机。这套思路对 PLD、ALD 这类要稳定臭氧分压的场景比较直接。
| 项目 | 情况 |
|---|---|
| 品牌 | MKS · SEMOZON |
| 英文名称 | MKS Instruments / SEMOZON |
| 国别 | 美国 |
| 背景 | SEMOZON 产品线源自 ASTeX，现属 MKS Instruments |
| 技术路线 | 高频无声放电 · 高纯氧 + ppm 级掺氮 · 全焊接水冷臭氧腔 |
| 产品线 | AX8400 发生器 / AX8500 集成系统 / LIQUOZON 臭氧水 / OVS 尾气破坏 |
| 常见场景 | ALD、TEOS-O₃ CVD、Ta₂O₅ CVD、去胶、晶圆清洗、表面改性 |
| 本站定位 | 进口设备销售、维修与备件服务；替换方案按原机型参数量级对位 |
产品线与型号
按厂商公开的产品系列与型号整理，产量、流量、浓度这类数字只写厂商资料里给出的口径；没有公开数字的栏目留「—」，不在此推算。
| 系列 / 型号 | 类型 | 公开参数 | 说明 |
|---|---|---|---|
| SEMOZON AX8400 系列 | 臭氧发生器本体 | AX8401 70 g/h、AX8402 125 g/h、AX8403 160 g/h、AX8404 105 g/h、AX8406 220 g/h | 全焊接臭氧腔，高纯氧 + ppm 级掺氮，水冷 17–23 ℃，可前面板或远程控制 |
| SEMOZON AX8500 系列 | 集成供气系统 | 1–4 台 AX8400 组合 | 单/双通道气体流量控制、闭环浓度监控、背压控制，19 英寸机架 |
| O3MEGA AX8561 | 集成臭氧发生系统 | 按配置 | 发生、控制、监测装在同一机架，用于空间受限的机台旁 |
| LIQUOZON Smart | 臭氧水递送 | 高浓度、大流量 | 面向湿法清洗的臭氧水供给 |
| LIQUOZON Single | 臭氧水递送 | 紧凑型 | 单片清洗设备旁边挂机 |
| LIQUOZON LoopO₃ | 臭氧水循环递送 | 带循环泵 | 闭路循环，减少放空 |
| LIQUOZON 100 / XF | 臭氧水递送 | 按配置 | 早期型号，仍在用机台可对照 |
| MKS OVS | 臭氧破坏器 | 按流量选型 | 尾气催化分解，装在真空泵之前 |
| ASTeX AX8200 / AX8415 | 早期机型 | 按原机型参数 | 老机台仍在服役，站内已有维修与对照文章 |
产品线以厂商当前公开的系列为准，停产型号在说明里单独标出。同一系列不同年份的样本参数可能调整，采购前请以当期样本或出厂文件核对。
站内相关资料
本站已写过的该品牌机型介绍与维修记录，参数细节在文章里，这里只做入口。
AbsoluteOzone BMT Messtechnik WEDECO 威德高 荏原 EBARA 三菱电机 Primozone Ozonetech（瑞典）
资料来源：MKS Instruments《SEMOZON AX8400 Series》产品数据表与 AX8500 系列产品说明。本页只整理厂商公开资料中能查到的型号与技术描述，不含厂商宣传性表述；参数如与出厂文件不一致，以出厂文件为准。所涉商标归各权利人所有，本页与上述厂商无隶属、代理或授权关系。
要拿 MKS · SEMOZON 的机型做对照
把型号、腔体容积、目标臭氧分压与工艺时长发过来，我们按浓度、流量、接口三段逐项对，给出能落地的配置。