品牌概况
荏原的臭氧产品分两条：OZC 出臭氧气体，OZW 出臭氧水。OZC 的定位是洁净臭氧源，用于半导体湿法与晶圆表面处理；OZW 把 OZC 产的气通过中空纤维膜溶进超纯水，直接供湿法台使用。
技术路线
放电结构用的是陶瓷涂层电极加蓝宝石介质，把无声放电和表面放电合在一起，好处是放电部位的寿命长、析出物少。气体浓度做到 10 vol% 以上，型号按气体流量分级，从 OZC-1 到 OZC-8，另一版资料里还有 OZC-10 到 OZC-18。
和 PLD 这条线的关系
整机标配臭氧泄漏检测与安全回路，这是日本厂商做半导体设备的常规配置。对 PLD 场景来说，OZC 的价值在于高浓度 + 低污染，缺点是流量档位偏小、单机产量按湿法台的用量设计，不按大腔体抽气量设计。
| 项目 | 情况 |
|---|---|
| 品牌 | 荏原 EBARA |
| 英文名称 | Ebara Corporation / Ebara Precision Machinery |
| 国别 | 日本 |
| 背景 | 1912 年创业，1920 年成立公司 |
| 技术路线 | 陶瓷涂层电极 + 蓝宝石介质 · 无声放电 + 表面放电复合 |
| 产品线 | OZC 洁净臭氧发生器 / OZW 臭氧水发生器 |
| 常见场景 | 半导体湿法清洗、晶圆表面氧化、超纯水臭氧水、精密电子清洗 |
| 本站定位 | 进口设备销售、维修与备件服务；替换方案按原机型参数量级对位 |
01 / PRODUCT LINE
产品线与型号
按厂商公开的产品系列与型号整理，产量、流量、浓度这类数字只写厂商资料里给出的口径；没有公开数字的栏目留「—」，不在此推算。
| 系列 / 型号 | 类型 | 公开参数 | 说明 |
|---|---|---|---|
| OZC-1 / OZC-2 | 洁净臭氧发生器 | 浓度 10 vol% 以上，气体流量按型号分级 | 小流量档，单片清洗与实验室机台 |
| OZC-4 / OZC-6 / OZC-8 | 洁净臭氧发生器 | 同系列，流量递增 | 湿法台与批量清洗 |
| OZC-10 / OZC-12 / OZC-16 / OZC-18 | 洁净臭氧发生器（大流量版） | 同系列，另一版资料列出的型号 | 按机台用气量选型，型号以当期样本为准 |
| OZW20N（1/2/4/6） | 臭氧水发生器 | 臭氧水浓度与流量按子型号分级 | 中空纤维膜溶解，one-path 直供 |
| OZW30N（1/2/4/6） | 臭氧水发生器 | 同上 | 流量档更大 |
| OZW60N（1/2/4/6/8） | 臭氧水发生器 | 同上 | 大流量，含 closed-loop 循环型 |
| OZW60N8-CD | 臭氧水发生器（带分解） | 同上 | 整机含臭氧水分解单元 |
产品线以厂商当前公开的系列为准，停产型号在说明里单独标出。同一系列不同年份的样本参数可能调整，采购前请以当期样本或出厂文件核对。
02 / ON SITE
站内相关资料
本站已写过的该品牌机型介绍与维修记录，参数细节在文章里，这里只做入口。
资料来源：荏原《Ozone Generation Products for Semiconductor Manufacturing Process》《ULTRACLEAN EQUIPMENT SERIES》产品资料。本页只整理厂商公开资料中能查到的型号与技术描述，不含厂商宣传性表述；参数如与出厂文件不一致，以出厂文件为准。所涉商标归各权利人所有，本页与上述厂商无隶属、代理或授权关系。
要拿 荏原 EBARA 的机型做对照
把型号、腔体容积、目标臭氧分压与工艺时长发过来，我们按浓度、流量、接口三段逐项对，给出能落地的配置。