PLD / ALD 臭氧源 · 设备与工艺配套
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配置方案按工况给,把下面四项准备好,沟通会快很多。

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工程师直线130 2190 9686
邮箱725576102@qq.com
销售中心北京市海淀区 SOCO 公社
工作时间周一至周五 9:00–17:30

需要准备的参数

  • 腔体容积与工作压力
  • 工艺目标臭氧浓度(mg/L 或 g/Nm³)
  • 真空泵型号与抽速
  • 氧源条件:钢瓶、液氧或已有供气系统
  • 冷却水条件(APEX 02 需 <20 ℃、>4 L/min)

没有完整数据也没关系,先说明工艺类型(PLD、ALD、湿法或实验室小试),我们可以按常见配置给一版初稿,再按现场情况调整。

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进口臭氧设备的故障诊断、备件替代与国产替代评估同样受理,请附设备铭牌照片与故障现象。