PLD / ALD 臭氧源 · 设备与工艺配套
同林科技 Tonglin Ozone Systems 010-82461830

M1000 高精度臭氧机

实验级小流量臭氧供给,产量 ≤1 g/h,10 圈档位细调。陡变电场放电、双层脱羟石英管状发生器,气路不与金属电极接触,出气洁净,适合台面安装与壁挂。

LAB SCALE · ≤1 g/h

M1000

采用晶闸管逆变技术,由陡变电场放电产生臭氧,放电室由纯进口双层脱羟石英结构管状发生器组成,产生高纯度臭氧,气路不与金属电极接触。模块化电路,介电元件、连接件和管道均采用抗氧化器件,不易氧化,降低氧化失效风险。

≤1 g/h臭氧产量
0.03–4 L/min进气量
10 圈档位调节
50 W整机功率

技术参数

项目参数
名称 / 型号臭氧发生器 · M1000 型
臭氧产量≤1 g/h
档位调节10 圈
额定电源220 V 50 Hz
进气压力0.01–0.03 MPa
进气量0.03–4 L/min
使用气源洁净干燥空气或纯氧
冷却方式风冷
安装方式平放或壁挂
功率50 W
外型尺寸300 × 165 × 85 mm(长 × 宽 × 高)
重量1.4 kg
连续工作时间≥1000 h
环境温度0–35 ℃

设备用途

  • 化工合成实验
  • ALD 实验
  • PLD 实验
  • 饮用水净化实验
  • 大气环境试验
  • 废水处理试验等高精度臭氧实验

在 PLD 回路里怎么用

M1000 适合小腔体、低流量段的实验场景:以纯氧或洁净干燥空气进气,出气经三通分一路给腔体、一路给检测仪读取浓度,尾气按流量选用 F800 或 F3 分解后排出。

当工艺需要的浓度达到 100 g/Nm³ 以上、流量超过 4 L/min 时,建议改用 APEX 02。

环节配套设备
浓度核验3S-J5000 臭氧浓度检测仪
尾气分解F800 / F3 分解器
取气与切换三通、Φ6 接头、PTFE 管路

实验规模不确定,先拿一台试?

把小试条件的流量与目标浓度告诉我们,帮你算清新风量与发生器型号的匹配关系。