APEX 02 · 380 V · 水冷 · 1/4" 进出口 · 30 kg
SEMI-GRADE O₃ SOURCE
APEX 02
模块化集成结构，整机满足半导体洁净与材料兼容要求，出口臭氧浓度与流量可分别调节。
0–400 g/Nm³出口臭氧浓度
0.1–1.5 SLM单通道气体流量
15–35 psi工作压力
30 kg整机重量
技术参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 品牌 / 型号 | 同林 · APEX 02 |
| 通道数量 | 1 个 |
| 单通道气体流速 | 0.1–1.5 SLM |
| 臭氧浓度 | 0–400 g/Nm³ |
| 气源 | 氧气 |
| 冷却方式 | 水冷（<20 ℃，>4 L/min） |
| 工作压力 | 15–35 psi |
| 工作温度 | 0–40 ℃ |
| 电源 | 380 V |
| 进出口接头 | 1/4" |
| 重量 | 30 kg |
特点
- 臭氧浓度可达 400 g/Nm³，流量与浓度可分别调节。
- 闭环控制，浓度与流量按工艺配方分别设定。
- 全不锈钢内腔、无移动部件与润滑脂，减少颗粒引入与金属析出，适配半导体前道对气源洁净度的要求。
- 模块化结构，调试与维护便捷，降低停机时间与使用成本。
- 臭氧检测仪与质量流量计可选配，与 J5000、F3 组成完整回路。
适用设备
半导体 CVD、ALD、PLD、湿法设备等。推荐按下列方式配套：
| 环节 | 配套设备 |
|---|---|
| 出气计量 | 质量流量计（腔体入口前选配） |
| 浓度核验 | 3S-J5000 臭氧浓度检测仪 |
| 泵前分解 | F3 臭氧尾气分解器 |
| 取样末端 | F800 臭氧分解器 |
需要 400 g/Nm³ 还是更低浓度段？
告诉我们腔体条件与工艺目标浓度，我们给出流量、压力与配套件的具体配置。