PLD / ALD 臭氧源 · 设备与工艺配套
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服务支持

选型、备件、安装、标定、维修——设备之外这几件事同样决定工艺能不能稳定跑下去。

01 / 选型配置

按回路配,不按单品报价

提供腔体容积、工作压力、目标浓度、真空泵型号与气源条件,我们出气路图、设备清单、接口规格与三通位置建议。

02 / 备件耗材

催化剂与关键件供应

F3 / F800 催化剂介质、石英放电管、密封件、1/4" 卡套与 PTFE 管路按型号备货。催化剂按 3–5 年周期评估更换。

03 / 安装调试

到场接线与通气

北京地区工程师支持现场安装,其他城市根据情况而定。到场后完成气路连接、冷却水接入、浓度标定与运行记录,交付时给一份操作与维护说明。

04 / 标定与校准

浓度读数要能对上

J5000 采用双光路紫外吸收法,设备自动校零。长期使用后可按周期做零点与量程核查,让读数与工艺设定值对得上。

05 / 故障维修

发生器与整机维护

模块化结构的 APEX 02 可单模块更换;M1000 的石英管与电路模块可维修更换,不整机报废。

06 / 进口设备服务

维修与替代评估

对在用进口臭氧设备提供故障诊断、备件替代与国产替代方案评估,按原机型参数量级对位,接口与工艺不变。

常见问题

发生器的浓度和流量能同时调吗

APEX 02 的浓度与流量可分别调节,闭环控制,浓度与流量可分别设定;M1000 以档位细调产量。

检测仪量程怎么选

按工艺浓度上限选。高浓度源出口可达 400 g/Nm³,需选 0–400 g/Nm³ 量程段;超量程使用会影响读数准确度。

尾气必须装分解器吗

含臭氧的排气都应分解后排放。主气路装在腔体后、真空泵前;取样支路在检测仪排气端。

催化剂多久换一次

F3 按 3–5 年周期评估;实际取决于进气湿度、浓度与运行时长,湿度高会缩短寿命。

能只买其中一台吗

可以。三段设备可单独采购,我们按现有回路给出接口匹配建议。

设备在跑但浓度上不去?

常见原因是气源含水、冷却水温偏高或取样的位置与流量不对,可以把现场情况发过来一起排查。