品牌概况
三菱电机的臭氧产品线以「三菱オゾナイザ」的名义销售，核心是短间隙无声放电加水冷圆筒型放电管。放电间隙做得窄而稳定，靠定位垫片长期维持间隙精度，这是它长时间连续运行时浓度衰减较小的原因。
技术路线
产品形态分几层：单体的高浓度臭氧发生装置、把发生与投加装在一个底座上的紧凑处理装置、干式臭氧除臭装置、臭氧加双氧水的 AOP 系统，以及把排水与除臭两路合到一台发生器的成套包。实验用小试机型是 OS-5P。
和 PLD 这条线的关系
半导体方向上，三菱近年在推 OZ-H 系列：改良放电单元的介质材料，让高温工况下仍能维持较高浓度，减少放电单元的清洗与更换频次。对 PLD 用户来说，OS-5P 这类小试机更适合先摸工艺窗口，产线再从高浓度装置里选型。
| 项目 | 情况 |
|---|---|
| 品牌 | 三菱电机 |
| 英文名称 | Mitsubishi Electric / 三菱オゾナイザ |
| 国别 | 日本 |
| 背景 | 臭氧发生装置产品线有五十余年积累 |
| 技术路线 | 短间隙无声放电 · 水冷圆筒型放电管 |
| 产品线 | 高浓度オゾナイザ / 实验用 OS-5P / 紧凑处理装置 / 除臭与 AOP 系统 / OZ-H |
| 常见场景 | 市政与工业水处理、除臭、半导体清洗与氧化 |
| 本站定位 | 进口设备销售、维修与备件服务；替换方案按原机型参数量级对位 |
产品线与型号
按厂商公开的产品系列与型号整理，产量、流量、浓度这类数字只写厂商资料里给出的口径；没有公开数字的栏目留「—」，不在此推算。
| 系列 / 型号 | 类型 | 公开参数 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 三菱オゾナイザ（高浓度型） | 臭氧发生装置 | 氧气源或干燥空气源，水冷圆筒型 | 短间隙无声放电，按产量分档选型 |
| OS-5P（实验用） | 实验 / 小试 | 氧气源 5.5 g/h @ 250 g/Nm³；空气源 2.5–10 g/h 分档 | 420×420×985 mm，约 70 kg，前面板带流量与浓度调节 |
| 紧凑臭氧处理装置 | 一体化装置 | 按配置 | 发生、投加、控制装在同一底座 |
| 干式臭氧除臭装置 | 除臭 | 按风量选型 | 工厂产线、农业集落排水、污水处理厂 |
| 臭氧 AOP 处理系统 | 高级氧化 | O₃ + H₂O₂ | 高浓度异臭味去除与溴酸生成抑制并行 |
| 排水·除臭成套包 | 成套系统 | 按配置 | 一台发生器同时供排水与除臭两路 |
| OZ-H 系列 | 半导体制程用 | 高浓度，面向连续工况 | 介质材料改良，长时间运行浓度衰减小，用于晶圆清洗与氧化 |
产品线以厂商当前公开的系列为准，停产型号在说明里单独标出。同一系列不同年份的样本参数可能调整，采购前请以当期样本或出厂文件核对。
站内相关资料
本站已写过的该品牌机型介绍与维修记录，参数细节在文章里，这里只做入口。
MKS · SEMOZON AbsoluteOzone BMT Messtechnik WEDECO 威德高 荏原 EBARA Primozone Ozonetech（瑞典）
资料来源：三菱电机臭氧发生装置「三菱オゾナイザ」产品页面与实验用高浓度オゾナイザ OS-5P 规格表。本页只整理厂商公开资料中能查到的型号与技术描述，不含厂商宣传性表述；参数如与出厂文件不一致，以出厂文件为准。所涉商标归各权利人所有，本页与上述厂商无隶属、代理或授权关系。
要拿 三菱电机 的机型做对照
把型号、腔体容积、目标臭氧分压与工艺时长发过来，我们按浓度、流量、接口三段逐项对，给出能落地的配置。