PLD / ALD 臭氧源 · 设备与工艺配套
同林科技 Tonglin Ozone Systems 010-82461830

BMT Messtechnik

BMT MESSTECHNIK GMBH · 德国(柏林)。这家公司的本行是臭氧测量,发生器是配套做的。小机器、风冷、浓度高,配合同厂的分析仪用起来省事。

品牌概况

BMT MESSTECHNIK 1975 年在柏林成立,起初做的是医疗与生理测量仪器,1984 年开始做紫外光度法臭氧浓度测量,1992 年起才把小型风冷臭氧发生器做成产品线。所以它的顺序和多数厂商相反:先有测量,再有发生。

技术路线

发生器只有 802N、803N 两个基础平台,靠进料流量和压力版本分型号:802N 4 g/h、803N 8 g/h,陶瓷介质配钨电极,放电腔装在一段铝型材里,靠外壳和外部风扇散热。803N HP 是为 2 bar 表压工况准备的版本,产量略高。

和 PLD 这条线的关系

同厂的分析仪在半导体行业用得比发生器多,961 到 965 是双光路紫外光度计,量程按 g/Nm³ 分档;963 AQ 是溶解臭氧探头,测超纯水里的臭氧。做小流量工艺时,发生器和分析仪同一家,浓度闭环少一层对接问题。

项目情况
品牌BMT Messtechnik
英文名称BMT MESSTECHNIK GMBH
国别德国(柏林)
背景1975 年创立,1979 年改为现公司形式
技术路线风冷无声放电 · 陶瓷介质 + 钨电极 · 小型高浓度
产品线802N / 803N / 803BT / 830 发生器,961–965 系列紫外臭氧分析仪
常见场景实验室、小试装置、医疗器械灭菌、制药、半导体小流量工艺
本站定位进口设备销售、维修与备件服务;替换方案按原机型参数量级对位
CONFIGURATION

手上有这台机器的型号,把腔体容积、工作压力、目标浓度与真空泵型号发过来,我们按同一口径给替代或配套方案。

索取对照方案
01 / PRODUCT LINE

产品线与型号

按厂商公开的产品系列与型号整理,产量、流量、浓度这类数字只写厂商资料里给出的口径;没有公开数字的栏目留「—」,不在此推算。

系列 / 型号类型公开参数说明
BMT 802N风冷臭氧发生器4 g/h(100 g/Nm³、20 ℃),氧进料 0.1–1.5 L/min陶瓷介质 + 钨电极,311×170×139 mm,约 4.7 kg
BMT 803N风冷臭氧发生器8 g/h,氧进料 0.1–4 L/min同上平台,391×170×151 mm,约 5.6 kg
BMT 803N HP风冷臭氧发生器(高压版)9 g/h,工作压力 2 bar 表压为背压较高的管路准备
BMT 803BT台式带气路控制8 g/h 以上含阀、压力表、氧质量流量计 0–2 Nl/min,接上就能用
BMT 803BT-A台式带气路控制 + 浓度分析同上整机自带浓度分析,量程 300 g/Nm³
BMT 830臭氧发生器8 g/h 级站内已有介绍文章,参数以原文为准
BMT 961 / 963 / 964 / 965紫外臭氧分析仪按 g/Nm³ 分档,量程上限 600 g/Nm³双光路紫外光度法,带温压补偿
BMT 603 / 930 / 590分析仪 / 环境监测仪高浓度、环境低浓度、医疗用590 用可见光 LED,为医疗臭氧治疗设备配套
BMT 963 AQ溶解臭氧传感器超纯水在线测量集成电路制造中的臭氧水工序
DH3 及采样附件采样处理—帕尔贴除湿、采样气过滤器、泵、流量计、臭氧催化剂

产品线以厂商当前公开的系列为准,停产型号在说明里单独标出。同一系列不同年份的样本参数可能调整,采购前请以当期样本或出厂文件核对。

02 / ON SITE

站内相关资料

本站已写过的该品牌机型介绍与维修记录,参数细节在文章里,这里只做入口。

OTHER BRANDS

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资料来源:BMT MESSTECHNIK《OZONE GENERATOR BMT 802N》《OZONE GENERATOR BMT 803N》产品数据表。本页只整理厂商公开资料中能查到的型号与技术描述,不含厂商宣传性表述;参数如与出厂文件不一致,以出厂文件为准。所涉商标归各权利人所有,本页与上述厂商无隶属、代理或授权关系。

要拿 BMT Messtechnik 的机型做对照

把型号、腔体容积、目标臭氧分压与工艺时长发过来,我们按浓度、流量、接口三段逐项对,给出能落地的配置。