GAS PATH
回路怎么接
整套回路分三段：前端把氧气转成高浓度臭氧，中段送入腔体参与工艺，后段把残余臭氧分解后排出。三段之间的接管位置、接口规格与阀件配置，要看腔体结构、抽速与工艺压力才能定，确认后由我们出图。
01
臭氧发生
APEX 02 · M1000
尾气分解
F3 · F800
氧气进气，出口浓度与流量可分别设定，按腔体需要的量供气。
02
PLD 腔体
客户设备
03
进气位置与接口形式按腔体结构确定，我们不预设。
残余臭氧分解后排出，避免进入泵体与排风管路。
01 / CONFIG
三种常见配置
差别主要在臭氧产量与流量段。腔体小的实验室装置和带负载锁的多靶腔体，配置不一样。
| 配置 | 适用场景 | 设备组合 |
|---|---|---|
| 实验台配置 | 小腔体、低流量，目标产量 ≤1 g/h | M1000 + J5000 + F800 + 三通与 Φ6 管路 |
| 标准腔体配置 | 常规 PLD 腔体，需要 100 g/Nm³ 以上浓度与稳定流量 | APEX 02 + 质量流量计 + J5000 + F3 + 1/4" 管路 |
| 高浓度配置 | 浓度接近 400 g/Nm³、对金属析出与颗粒敏感的前道工艺 | APEX 02（闭环）+ 质量流量计 + J5000（0–400 g/Nm³ 量程段）+ F3 + F800 |
表中的组合是常见搭法，具体到你的腔体容积、抽速与工艺压力，接口规格和三通位置可能还要调整。
02 / INTERFACE
接机前要确认的几件事
这几项定了，气路图和清单就能一次给准，不用来回改。
- 腔体与抽速
- 腔体容积、工作压力、真空泵型号与抽速，决定臭氧流量段的选型以及 F3 的处理量。
- 目标浓度
- 工艺需要的臭氧浓度上限，决定发生器浓度段与检测仪量程。超量程使用会影响读数准确性。
- 气源条件
- APEX 02 使用氧气进气，需确认氧源压力与纯度；质量流量计按入腔量程单独选配，与发生器出口规格匹配。M1000 可用洁净干燥空气或纯氧。
- 安装与冷却
- APEX 02 为水冷，需要 <20 ℃、>4 L/min 的冷却水；M1000 风冷，平放或壁挂。
- 排气去向
- 泵前尾气经 F3 分解后去哪里、取样支路末端是否接 F800，涉及实验室排风与安全评估。
接机前常被问到的五个问题
臭氧源在气路上接在哪一段
臭氧由发生器产生后送入腔体，尾气在排出前经分解处理，浓度检测从回路取气。具体接管位置与阀件配置要看腔体结构，定稿后由我们出图。
质量流量计的量程怎么定
按进入腔体的臭氧流量上限选，并留出调节余量。量程要和发生器出口规格、腔体抽速一起核对，定配置时给出推荐量程段。
出口压力要多高才够
按腔体工作压力加上管路阻力来定。APEX 02 的工作压力区间是 15–35 psi；如果腔体是低真空、管路又长，需要提前说明，我们按实际背压复核配置。
需要多高的臭氧浓度
按工艺与目标氧化势定，PLD / ALD 腔体进气的常见区间是数十至数百 g/Nm³。APEX 02 出口浓度覆盖 0–400 g/Nm³，可按工艺点在下限运行，不必一直跑满量程。
含臭氧的尾气怎么处理
主气路在真空泵前装 F3 臭氧尾气分解器，分解效率 99.9%；检测仪排气端的取样支路用 F800 处理。两处都装，泵与实验室环境都更安全。
把腔体条件发过来，出气路图
腔体容积、工作压力、目标浓度、真空泵型号——四项就能给出配置与接口方案。