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    美国MKS臭氧发生器 SEMOZON® AX8415

    来源:www.tonglinkeji.com.cn 作者:同林臭氧 时间:2022-01-20 10:34

    SEMOZON® AX8415 是 MKS 开发的最具创新性和多功能性的臭氧发生器。该发生器的新颖结构和专利电池设计可产生超清洁、高浓度、高流量的臭氧,将氧气转化为 >400 g/Nm3 的高浓度臭氧,用于半导体、平板显示器和光伏行业的前沿应用。

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    在 5°C @ 2.5 slm 时臭氧浓度高达 425 g/Nm3 或 27.1 wt%

    从 2.5 slm 到 50 slm 的 O2 流量可实现工艺灵活性

    获得专利的电池设计可产生高浓度臭氧

    在添加或不添加氮气的情况下运行

    闭环操作可实现更严格的过程控制

    直接替代MKS SEMOZON AX8407臭氧发生器


    规格

    类型:臭氧气体发生器

    臭氧输出:高达 425 g/Nm 3

    流量:2.5 - 50 slm

    原料气氧气:6 级或更好的 O2

    氮气(可选):100 ppm 5 级或更好的 N2

    环境温度:10 - 40°C (50 - 104°F)

    标称电池压力(交付):15 - 45 磅/平方英寸(100 - 310 千帕)

    压力:将过程压力保持在 20 - 50 psig

    控制接口:前面板控制和远程操作

    冷却水温度:5 - 25°C (41 - 77°F)

    冷却水过滤:100微米

    冷却水质量:电阻率 ≥ 50 kΩ/cm

    最小水流量:9.4 升(2.5 加仑/分)

    电压要求:208 VAC (±10%) 3Ø 和 GND,无中性线

    当前要求:20安培

    频率:50/60 赫兹

    重量:46.3 公斤 

    尺寸:483 x 445 x 267 毫米 

    遵守:CE、半 S2-0302、半 F47、UL 61010-1、CAN/CSA-61010-1


    SEMOZON AX8415 中设计的技术是该发生器多功能性的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。AX8415 能够通过产生最高浓度的超洁净臭氧来支持所有这些应用,无论是否添加氮作为掺杂剂气体。如果给定应用需要,去除臭氧形成过程中使用的微量氮可消除 NOx 化合物的形成。