F3 · 腔体后 / 真空泵前
F3 臭氧尾气分解器
催化分解，全不锈钢内部结构，无移动部件，适应苛刻工业环境。支持垂直安装，可逆流动方向，无需区分进出口；催化剂介质可更换，维护成本低。专为干燥臭氧气体设计。
原理催化分解
气源干燥空气 / 干燥臭氧气体
处理量<12 L/min @100 g/Nm³
处理量<90 L/min @200 ppm
分解效率99.9%
接头1/4" 或其他
寿命3–5 年
尺寸 / 重量327×102 mm / 6 kg
F800 · 检测仪后端 / 取样末端
F800 臭氧分解器
催化剂由钛、纳米稀土、硅、锰、铜、镁、铁、铝等金属氧化物熔结成的多孔性、表面高活性的圆柱状固体颗粒，无毒性。每克去除臭氧能力 1500 mg，催化分解效率 99%。
处理能力干燥臭氧气体
流量≤2 L/min（100 g/Nm³）
进气压力<0.1 MPa
接口Φ6 或 Φ8
分解效率99%
尺寸 / 重量长 34 cm · Φ30 mm / 1 kg
型号对比与安装位置
| 项目 | F3 | F800 |
|---|---|---|
| 安装位置 | PLD 腔体之后、真空泵之前 | 臭氧检测仪排气端 |
| 处理气量 | <12 L/min @100 g/Nm³；<90 L/min @200 ppm | ≤2 L/min @100 g/Nm³ |
| 分解效率 | 99.9% | 99% |
| 接口 | 1/4" 或其他 | Φ6 / Φ8 |
| 结构 | 全不锈钢筒体，可垂直安装，进出气方向可逆 | 不锈钢管式，轻巧便携 |
| 更换周期 | 3–5 年 | 按使用频率与浓度，介质可更换 |
| 重量 | 6 kg | 1 kg |
为什么装在泵前：未分解的臭氧进入真空泵会加速泵油氧化、腐蚀密封件，也会从排气口进入实验室空气。F3 的处理量与分解效率按主气路流量选，不要按发生器额定产量选。
CATALYST
催化剂能换，筒体不用换
两支都是催化分解，不是加热或活性炭吸附，常温工作，产物为氧气，不产生需另行处理的副产物。
- 工作原理
- 臭氧在催化剂表面发生催化分解，转化为氧气，不需要加热，也不产生氮氧化物。
- 介质更换
- F3 与 F800 的催化剂介质均可单独更换，筒体与接头继续使用，按 3–5 年周期评估更换。
- 安装方向
- F3 支持垂直安装，进出气方向可逆，无需区分进出口，管路布置更灵活。
- 气源要求
- 两支都针对干燥臭氧气体设计。高湿气体会影响催化剂活性，湿法工艺的尾气需先除湿再进分解器。
尾气流量决定选 F3 还是并两支
把主气路流量、浓度与泵的抽速发给我们，帮你核算处理量与接口规格。