PLD / ALD 臭氧源 · 设备与工艺配套
同林科技 Tonglin Ozone Systems 010-82461830
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关于同林

做臭氧设备二十余年,从石英管放电体、电源模块到整机装配自己完成。现在把这一套能力用在 PLD 与半导体工艺的臭氧供给上。

从放电体做到整机

北京同林科技有限公司从事臭氧发生器与臭氧检测设备的研发、制造与配套服务。臭氧发生器的核心部件——石英放电管、电源与控制系统——由公司自行设计与装配,整机在自有产线完成老化与检测。

公司同时经营进口臭氧发生器与臭氧检测设备的销售、维修与备件服务,长期接触境外品牌机型的结构与参数,这为国产替代方案提供了对照基础:按原机型参数量级对位,接口与工艺不变,替换时不需要改管路。

为什么做 PLD 这条线

PLD、ALD 这类工艺对臭氧的要求和传统水处理、空间消毒完全不同:流量小、浓度高、对金属析出和颗粒敏感,而且尾气必须处理干净才能进泵。这段气路上要用的配件往往来自不同厂家,接口和量程不容易对上。

我们把发生器、检测仪、尾气分解器和流量计、三通这些配件按回路打包,交付时给的是气路图和接口规格,而不是一台孤立的机器。

项目情况
公司名称北京同林科技有限公司
销售中心北京市海淀区 SOCO 公社
总机010-82461830
主营臭氧发生器、臭氧检测设备、尾气分解器及配套件
工艺方向PLD / ALD / CVD / 湿法清洗 / 超纯水 / 实验室
服务范围选型配置、备件供应、安装调试、标定与维修
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需要配置方案,把腔体容积、工作压力、目标浓度与真空泵型号发过来即可。

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20+ 年臭氧发生技术积累
自产石英放电管 · 电源 · 整机装配
3 段发生 · 检测 · 分解成套交付
2 类自有设备 + 进口设备服务