3S-J5000 · 355 × 295 × 175 mm · 8 kg · 7 寸触屏
DUAL BEAM UV · 0–200 g/Nm³
3S-J5000
依据朗伯-比尔定律，测量臭氧对紫外光吸收前后的光信号强度变化，计算当前臭氧浓度值。双光路紫外光源，设备自动校零，零点漂移 <0.3% FS。内设灯管智能管理系统，开机后紫外灯管迅速达到测量状态。采用德国分离式光池技术，具备无泄漏、耐压高、耐大流量气体冲击的特点。
0–200 g/Nm³量程范围
0.01 g/Nm³显示分辨率
0.3% FS检测精度
<2 s响应时间
技术参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测原理 | 双光路紫外吸收法 |
| 量程范围 | 0–200 g/Nm³ |
| 显示分辨率 | 0.01 g/Nm³ |
| 输入气体流量 | 1 L/min |
| 输入压力 | <0.1 MPa |
| 零点漂移 | <0.3% FS |
| 响应时间 | <2 s |
| 取样口管径 | 1/4" 或 6 mm 卡套 |
| 检测精度 | 0.3% FS |
| 重量 | 8 kg |
| 电源 | 220 V |
| 尺寸 | 355 × 295 × 175 mm |
| 操作方式 | 7 寸触摸屏 |
| 数据存储 | U 盘存储 |
| 配套软件 | 臭氧实时检测软件 |
在回路中的位置
J5000 从发生器出口或腔体入口取样，进样流量 1 L/min、进样压力低于 0.1 MPa。检测完成后的气体仍含臭氧，需在排气端接 F800 分解器后再排入室内环境。
取样口为 1/4" 或 6 mm 卡套，取样路建议用 PTFE 管，接头用三通从主管路引出，避免长距离取样导致浓度衰减。
量程选择
| 工艺段 | 常见浓度 |
|---|---|
| PLD / ALD 腔体进气 | 数十至数百 g/Nm³ |
| 高浓度源出口 | 可达 400 g/Nm³（需 0–400 g/Nm³ 量程段） |
| 臭氧水与湿法 | 数 mg/L 以下（溶解态） |
量程段按实际工艺浓度选，超量程使用会影响读数准确度，可先告知我们目标浓度再定型号。
检测仪要跟发生器一起算量程
把发生器型号、目标浓度和取样位置告诉我们，一起把量程与取样路配好。