半导体专用 · 高浓度
查看产品
APEX 02 高浓度臭氧源
单通道 0.1–1.5 SLM，出口 0–400 g/Nm³，氧气进气、水冷闭环控制。模块化集成结构，维护不影响整机运行。
浓度400 g/Nm³
压力15–35 psi
重量30 kg
实验室 · 小流量
查看产品
M1000 高精度臭氧机
产量 ≤1 g/h，10 圈档位细调，双层脱羟石英管状发生器，气路不与金属电极接触。风冷、1.4 kg，平放或壁挂。
产量≤1 g/h
进气0.03–4 L/min
功率50 W
双光路紫外 · 在线检测
查看产品
3S-J5000 臭氧浓度检测仪
双光路紫外吸收法，0–200 g/Nm³，0.01 g/Nm³ 分辨率，响应 <2 s。7 寸触屏 + U 盘存储，配实时检测软件。
量程0–200 g/Nm³
精度0.3% FS
响应<2 s
02 / Accessories
尾气分解与配套件
按安装位置选型：腔体后、泵前用 F3；检测仪取样路末端用 F800。
F3 · 腔体后 / 泵前
F3 臭氧尾气分解器
全不锈钢结构，可垂直安装、进出气方向可逆，催化剂可更换。
处理<12 L/min @100 g/Nm³
效率99.9%
重量6 kg
F800 · 检测末端
F800 臭氧分解器
金属氧化物熔结催化剂颗粒，无毒性，Φ6 / Φ8 接口，1 kg。
流量≤2 L/min
效率99%
重量1 kg
质量流量计发生器出口计量
三通与切换阀316L 或 PTFE 阀体
管路与接头1/4" 卡套 · PTFE
备用催化剂F3 / F800 可更换介质
03 / Selection
按工艺段选设备
| 工艺段 | 选型依据 | 对应设备 |
|---|---|---|
| 小流量实验 | 目标产量 ≤1 g/h，进气 0.03–4 L/min | M1000 |
| 高浓度供气 | 目标浓度接近 100–400 g/Nm³，流量 ≤1.5 SLM | APEX 02 |
| 浓度核验 | 取样流量 1 L/min，量程覆盖工艺上限 | 3S-J5000 |
| 泵前尾气 | 主气路流量与浓度，按 <12 L/min@100 g/Nm³ 折算 | F3 |
| 取样末端 | 检测仪排气量 ≤2 L/min | F800 |
不确定选哪台？把工况发过来
腔体容积、工作压力、目标浓度、泵型号，四项就能定配置。