PLD / ALD 臭氧源 · 设备与工艺配套
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按工艺路线整理的臭氧设备配置方案,含气源、投加方式与配套设备选型。

想找某个工艺条件下的配置?

把腔体容积、目标浓度和真空泵型号告诉我们,直接从资料库里挑对应案例。