韩国半导体用臭氧发生器CN-1介绍
优点
产生高浓度臭氧
臭氧浓度220mg/L（约15%）
流量调节0~2[LPM]
臭氧出口压力0~2kg/c㎡
原料空气氧气、氮气
可调节压力0.5~1.2kg/c㎡
冷却式水冷式专用
其他氧气发生器外置，需要外部冷却水供应，防逆流（可选）
参数
型号名称：CN-1
臭氧浓度：220g/㎥ 氧气 1.0 LPM 标准
功耗：MAX 0.7KW （氧气发生器，冷却器单独)
电源规格：220V 1Φ 60Hz
冷却方法：仅限水冷式
冷却液需求：3LPM 或更高版本
流量控制：Flow Controller
控制臭氧浓度：Digital Volume
显示设备
1. 液晶屏显示 -RUN，PURGE，ERROR，PV[%]，SV[W]
2. 测量仪LCD：显示臭氧生成浓度值
3. 控制器：在雷莫特操作时设置目标臭氧浓度
4. 流控制器：设置供气流量
5. O<> 压力表：臭氧发生器内部压力指示
控制臭氧的产生：功耗控制在 12% 到
进出口：1/4"(6.3Φ)
主材：Stainless Steel, Aluminum
尺寸 （WXDXH）：479 × 446 × 843(mm)
产品重量：约 60 Kg
操作条件
• 正常温度 （0°C 至 30°C）)
• 通风良好且无湿气的地方
