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ALD用高浓度臭氧发生器Atlas H30功能介绍
在半导体领域用臭氧发生器屈指可数,如果MKS SEMOZON® AX8415、SEMOZON® AX8407、SEMOZON® AX8410 ,住友臭氧发生器货期太长,不能满足现在要求,那同林推荐Atlas H30,虽然不能完全替代前面几个型号,但可以作为替代产品来使用。下面是功能介绍视频。
可用在半导体、ALD行业。
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