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    Savannah 臭氧发生器 – 用于研发的热力原子层沉积 (ALD)

    来源:www.tonglinkeji.com.cn 作者:同林臭氧 时间:2022-01-19 11:40

    Savannah 臭氧发生器 – 用于研发的热力原子层沉积 (ALD)(图1)

    Veeco 是全球研究和行业原子层沉积 (ALD) 系统的领先供应商,提供可访问、经济实惠并具有原子量级准确性的综合服务和多功能交钥匙系统。薄膜沉积是我们的专长。我们的 Savannah® 系列薄膜沉积工具展示了这些能力。

    Savannah® 已成为全球大学参与原子层沉积 (ALD) 并寻找经济实惠且稳健平台的研究人员的首选系统。在过去十年中,我们已经交付了数百个此类系统。Savannah® 对前体的高效使用和节能功能大幅降低了操作薄膜沉积系统的成本。

    主要功能包括:

    • 原位椭圆偏振术
    • 原位 QCM
    • 自组装单层
    • 2 秒周期时间
    • 集成臭氧
    • 低蒸汽压力沉积
    • 批处理
    • 手套箱集成

    Savannah® 配备高速气动脉冲阀,可实现我们独特的 Exposure Mode™,用于超高纵横比基质的薄膜沉积。这种经验证的精密薄膜涂层方法可用于沉积横向比大于 2000:1 的基质上的保形、均匀薄膜。Savannah® 有三种配置:S100、S200 和 S300。Savannah® 能够保持不同尺寸的基质(S300 高达 300mm)。Savannah® 薄膜沉积系统配备加热前体线和增加最多 6 条线的选项。Savannah® 能够处理气体、液体或固体前体。

    Savannah® G2 技术规格

    基质尺寸Savannah S100:最多 100 mm
    Savannah® S200:最多 200 mm
    Savannah® S300:最多 300 mm
    尺寸(宽 x 深 x 高)Savannah S100:585 x 560 x 980 毫米
    Savannah® S200:585 x 560 x 980 毫米
    Savannah® S300:686 x 560 x 980 毫米
    带有可拆卸面板和可锁定前体门的白色粉末涂层的钢板
    操作模式Continuous Mode™(高速)或 Exposure Mode™(超高纵横比)
    功率115 VAC 或 220 VAC,1500 W(不包括泵)
    控制LabView™,Windows™ 7,Lenovo 笔记本电脑,USB 控制
    最大基质温度S100:RT – 400 °C
    S200:RT – 350 °C
    S300:RT – 350 °C
    沉积均匀性(Al2O3) < 1% (1σ)
    周期时间每周期 <2 秒(AL2O3在 200 °C 下)
    真空泵Alcatel 2021C2 – 14.6 CFM
    兼容性洁净室级别 100 兼容
    合规性CE、TUV、FCC
    前体输送系统,端口2 线标准,最多 6 条线可用
    每条线都适合固体、液体和气体前体
    线可独立加热至 200 °C
    前体输送系统,阀门行业标准高速原子层沉积 (ALD) 阀,响应时间 10 毫秒
    前体气瓶独立加热 50 ml 不锈钢气瓶,更大气瓶可选
    承载器/排气气体N2质量流量控制,100 SCCM
    选项低蒸汽压力输送 (LVPD) 系统
    臭氧发生器
    用于晶片盒或 3D 物体的圆顶盖
    手套箱接口
    原位椭圆偏振术
    原位石英晶体微平衡 (QCM)
    自组装单分子膜 (SAM)
    颗粒涂层