臭氧消毒灭菌技术作为一种先进的消毒灭菌技术，同常见的高温杀菌、紫外线杀菌、化学药剂杀菌等相比具有较多优点。
1 广谱杀菌
臭氧是一种广谱杀菌剂，其在短时间内可有效地杀灭大肠杆菌、蜡杆菌、巨杆菌、痢疾杆菌、伤寒杆菌、流脑双球菌、金黄色葡萄球菌、沙门氏菌以及流感病毒、肝炎病毒等多种微生物。细菌的芽孢、原生孢囊以及真菌对臭氧的抵抗力较强，但经过较长时间的臭氧处理亦可被全部杀灭。
2 灭菌速度快
试验结果表明，当消毒剂浓度为 0.3mg/L 时，为达到 大部分的菌体灭活率，用二氧化氯需 6.7min，用碘需 100min，而用臭氧只需 1min。臭氧杀灭大肠杆菌的速率更快，当消毒剂浓度为 0.9mg/L 时，要达到99.99 %的消毒效果，臭氧只需 0.5min，二氧化氯需 4.9min，两者相差 8.8 倍。
3 无残留
臭氧的化学性质活泼，一种不稳定的气体，易自行分解成氧，无任何残留，无任何新的物质生成，不会造成二次污染，是 很干净的消毒剂。特别是在饮用水杀菌消毒上，几乎是有效而无害的途径。
4 无消毒死角
用紫外线以及高锰酸钾、漂白粉等化学消毒剂容易造成消毒死角，用臭氧消毒不必担心有消毒死角，臭氧在通常情况下是一种气体，极易扩散流动，所有与空气有接触的地方都可起到很好的消毒效果。
5 不需高温处理
传统的高温杀菌技术是依靠高温使菌体蛋白凝固，从而使菌体死亡，高温对食品的热敏性营养成分破坏很大，可使食品本身所特有的风味有所丧失。臭氧杀菌技术是一种冷杀菌技术，不需加热处理，是利用本身强烈的氧化作用使菌体死亡，很好地保持食品原有的色、香、味，使食品质量得到保证。
6 可脱臭、除味、脱色
臭氧是一种强氧化剂，进行水处理时能破坏使水产生异味的有机化合物和有色的有机物，将亚铁和亚锰氧化成高价的不溶性氧化物，然后通过沉淀和过滤除去，并且不会产生卤代烃类。
7 使用方便
利用臭氧进行消毒灭菌比利用其它消毒灭菌方法方便，且安全可靠。
