SEMOZON® AX8585 独立式臭氧气体输送系统是围绕 AX8410 PRIME 臭氧发生器设计的,可提供高流量、高浓度、超洁净的臭氧产生和输送。这条完全可配置的产品线旨在满足半导体行业不断变化的需求。每个 SEMOZON AX8585 都是一个完全集成的高输出臭氧气体输送系统,旨在用于越来越多的半导体工艺应用,例如 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻胶剥离、晶片清洁、污染物去除和氧化物生长。
特点
完全集成的交付系统可实现快速、轻松的安装和快速启动,所需的连接少
支持单个或多个工艺工具,以实现高效率和更低的运营成本
模块化设计允许每个通道进行过程匹配以获得大的灵活性
闭环浓度控制提供更严格的过程控制以提高产量
带有触摸屏的用户友好型控制器为与工具连接、设置臭氧浓度和流速以及安全监控提供了简单的中央控制
规格
类型:臭氧气体输送系统
臭氧输出:375g/Nm 3
流量:每台发电机 22.7 lpm (6.0 gpm)
原料气:氧气、氮气(总流量的 100 - 1000 ppm)
原料气供应压力:O2 压力 55 ±2 psig (379 ±13.5 kPa, 3.8 ±0.14 kg/cm 2 ), N2 压力 60 ±2 psig (413 ±13.5 kPa, 4.12 ±0.14 kg/cm 2 )
原料气纯度:氧气:6 级或更好的 O2,氮气:5 级或更好的 N2
工作温度:5 - 40°C (41 - 104°F)
所需冷却水温度:5 - 25°C (41 - 77°F)
需要冷却水过滤:100微米
所需的冷却水质量:3 - 0.5 MΩcm DI
所需的冷却水 很小流量:每台发电机 22.7 lpm (6.0 gpm)(取决于配置)
需要冷却水连接:1 英寸压缩 (Swagelok®)
所需冷却水热负荷:每台发电机 11 千瓦
电压要求:208 伏交流电 (±10%),三相
频率:50/60 赫兹
排气流量:每台发电机 70.8 l/s (150 cfm)
排气类型:SEMI 类别 4(危险气体或蒸气的意外或紧急释放)
排气静压: 很小 3.05 毫米(0.16 英寸)H2O,在机柜管道入口处测量
控制气压:70 - 100 磅/平方英寸(483 - 689 千帕)
控制空气类型:CDA 或干燥氮气,40µ 过滤
控制空气接头:0.25 英寸压缩 (Swagelok®)
排气连接:8 英寸直径的管道开口
尺寸:28.4 x 81.7 x 41.4 英寸(722 x 2074 x 1051 毫米)(宽 x 高 x 深)
相对湿度:30 - 90%(非冷凝)
重量:345 kg (760 lb) 用于带一台发电机的系统
遵守:CE、UL/CSA、半 S2、半 F47
高度: 很高高于平均海平面 1000 m (3280 ft)