ANRIC AT-OZONE 臭氧发生器功能和规格
特点
用于非循环臭氧流动的高容量臭氧破坏器。消除机组废气流中的臭氧
带自动控制的 O2 入口截止阀
电晕电池由带陶瓷电介质的铝制成
低流量时重量比 12%，高流量时为 6%
工作频率： 5，000 – 30，000 Hz
自动臭氧控制需要3-24V输入信号
臭氧内部
ATOzone（臭氧发生器）系统利用高质量的组件来产生一个整体系统，以非常小的外形尺寸提供高浓度的臭氧。
该系统不需要昂贵且笨重的水冷，只需内置高速风扇即可保持浆池冷却，即使在长时间或持续使用期间也是如此。
纯氧从背面进入工具。氧气压力使用前面板安装调节器进行调节，然后送入电晕浆池以产生臭氧。然后将臭氧在内置的臭氧破坏装置和系统前端的臭氧输出之间分配。如果未使用臭氧（即未流过 ALD 系统或其他设备），则所有臭氧都会进入销毁单元，流出的再次是纯 O2，它通过流量控制器引导，然后流向后面的排气口。如果臭氧被利用，那么臭氧的净流量是输出而不是通过破坏。
有几种方法可以操作系统。 您可以手动打开系统以输出 O2 或 O3（通过前面板上的开关），也可以使用 3-24V 信号远程打开和关闭 O3/O3 输出。
