三菱高浓度臭氧气体发生系统介绍

三菱高浓度臭氧气体发生系统介绍

特征：

• 采用氮气不添加法产生超高浓度臭氧气体，达到400g/m的超高、行业领先浓度3（北）
• 通过采用不添加氮气的方法来清洁臭氧气体（其中氮氧化物的产生限制在其极限*）并保持所需的质量，从而限制金属污染物的产生，从而使图案小型化和提高薄膜质量。
  *氮氧化物浓度0.01ppm以下（与之前型号相比为1/10000）
• 独特的超短间隙放电技术的继承，具有出色的启动特性、稳定性和冷却效率。
• 符合国际标准，符合CE标志和SEMI-S2

H系列 在不使用氮添加剂的情况下产生行业领先的超高浓度臭氧气体，主要用于半导体和制造工艺。 P系列 仅使用高纯度氧气产生清洁臭氧气，主要用于半导体和制造工艺，不含氮添加剂。 C系列 产生适用于半导体制造工艺的清洁臭氧气体 N系列 使用普通氧气产生高浓度臭氧气体。主要应用包括半导体制造工艺、化学工艺、食品制造工艺和水处理。

臭氧水生产系统

U系列 制造适用于半导体制造工艺的清洁臭氧水。主要应用包括半导体制造工艺和精密机器零件清洗。

母线粘接机

特征

• 将导线直接粘接到薄板玻璃上。
• 无需加热、焊接材料或耗材即可形成母线排。
• 接触电阻低，电性能好。
• 原始技术可以减少对玻璃的损坏。

基本规格

• 引线的自动张力控制。
• 监控系统（制造条件、粘接痕迹）。
• 可更换的吸头（工具）
• 砧座和固定结构（减少对玻璃的损坏）。

粘接成就

• 玻璃厚度[mm]：0.65~4
• 玻璃的表面材料
• 玻璃原料
• 沉积薄膜（ITO、ZnO、Ag、Cr、Al、Ti、Ni等）
• 平板玻璃尺寸 [mm]
• □100、□300、500 x 1000、600 x 1200 等

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