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    住友臭氧发生器 SGRP-03JS

    来源:www.tonglinkeji.com.cn 作者:同林臭氧 时间:2022-04-19 17:56

    住友臭氧发生器 SGRP-03JS


    住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

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    具体信息:

    型号:SGRP-03JS

    臭氧气体流速:350g/m3(N)

    臭氧气体供应压力:15L/min (5L/min x 3Line)

    冷却水温度:20°C±2°C

    尺寸:W570mm x D850mm x H1,870mm

    重量:360kg

    功率:200-220VAC, 3-phase


    型号:SGRF-03JA

    臭氧气体流速:400g/m3(N)

    臭氧气体供应压力:20L/min

    冷却水温度:5°C

    尺寸:W570mm x D850mm x H1,836mm

    重量:350kg

    功率:200-220VAC, 3-phase


    住友臭氧发生器应用:

    半导体器件

    Si/复合晶圆

    FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)

    光罩

    发光二极管

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    优势:

    能够通过单独控制向大容量臭氧气体提供一条管线或多条管线。

    高浓度;高达400g/m3(N)

    产品线丰富;小到大容量。

    高压;*大0.3Mpa(SGRP系列)

    无氮掺杂(SGRF系列)

    高压耐受,长寿命放电单元

    快速启动,快速响应

    与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度

    CE、NRTL、半标准适用

    管道材料;从316LSS或PFA中选择