美国 beneq TFS 500 ALD反应器(臭氧可选)TFS 500 是薄膜镀膜应用中各种用途的理想选择。作为第一个 Beneq 反应器模型,它已被证明是用于深入 ALD 研究和稳健批处理的多功能工具。TFS 500 是多项目环境的理想工具。TFS 500 可以处理多种类型的基板;晶圆、平面物