Beneq TFS 200 原子层沉积研究设备Beneq TFS 200 是有史以来为学术研究和企业研发而设计的灵活的原子层沉积研究平台,Beneq TFS 200 专门设计用于很大限度地减少多用户研究环境中可能发生的任何交叉污染。大量的可用选项和升级意味着您的 Beneq TFS 200 将与您一
AT410 台式热原子层沉积描述AT410 工具是市场上具成本效益的原子层沉积系统。半导体级组件和金属密封管线以及快速脉冲阀使研发机构能够快速访问高质量的 ALD 薄膜,以快速筛选概念。 该工具拥有达到或超过市场上其他工具的功能,而成本只是其中的一小部分。技术特点直径高达 4“ 的样品架(可定制以容