美国API 452型过程臭氧测量模块 - 适合应用于半导体行业 -452是基于微处理器的、能够精准可靠地测量氧气或空气中的高浓度臭氧的气体测量模块。 测量原理是基于254nm波长的紫外吸收法。读数的单位可在重量百分比和克/立方米中选择。温度补偿和高达300kPa的压强补偿也是该系列仪器的特点。仪器紧