美国API臭氧发生器控制器SCI-552参数 - 适合应用于半导体工业流程 -CI-552 是臭氧输送系统的系统控制器,为许多典型系统组件提供电子控制接口,包括:臭氧发生器、EV 阀、质量流量控制器、背压控制器、Teledyne API 452 臭氧传感器、Teledyne API 470 溶解臭氧