美国API 452型过程臭氧测量模块 - 适合应用于半导体行业 -452是基于微处理器的、能够精准可靠地测量氧气或空气中的高浓度臭氧的气体测量模块。 测量原理是基于254nm波长的紫外吸收法。读数的单位可在重量百分比和克/立方米中选择。温度补偿和高达300kPa的压强补偿也是该系列仪器的特点。仪器紧
美国API臭氧发生器控制器SCI-552参数 - 适合应用于半导体工业流程 -CI-552 是臭氧输送系统的系统控制器，为许多典型系统组件提供电子控制接口，包括：臭氧发生器、EV 阀、质量流量控制器、背压控制器、Teledyne API 452 臭氧传感器、Teledyne API 470 溶解臭氧
